無塵室設備幾乎用於每個行業,在這些行業中小顆粒會對生產過程產生不利影響。它們的大小和復雜性各不相同,廣泛用於半導體製造,製藥,生物技術,醫療設備和生命科學等行業,以及航空航天,光學,軍事和能源部常見的關鍵過程製造。
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潔淨室是指給定的任何包含空間,旨在減少微粒污染並控制其他環境參數(例如溫度,濕度和壓力)。關鍵組件是高效微粒空氣(HEPA)過濾器,該過濾器用於捕集0.3微米及更大尺寸的顆粒。輸送到潔淨室的所有空氣都通過HEPA過濾器,在某些情況下,需要嚴格的清潔性能時,應使用超低顆粒空氣(ULPA)過濾器。
選擇在潔淨室工作的人員接受了污染控制理論的廣泛培訓。它們通過氣閘室,空氣淋浴間和/或更衣室進入和離開潔淨室,並且他們必須穿著專門的服裝,以捕獲皮膚和身體自然產生的污染物。