無塵室設備全套防塵防護配備設計,讓我們看一下設置過程中所需的一些設備。過濾器使用隨機構造的纖維墊,可過濾掉99.97%直徑大於0.3微米的顆粒。過濾器可去除直徑大於0.12微米的顆粒的99.999%。
這些無塵室設備用於維持近乎恆定的空氣處理,從而將空氣中的顆粒向下推向地板,在那裡它們被過濾器捕獲並被吸出房間。
暖通空調系統,代表供暖,通風和空調。這些系統用於控制潔淨室的溫度和濕度。由於空氣過濾裝置,照明和工作過程產生的熱量,大多數房間都需要持續冷卻。
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